制藥廠有機廢氣主要來源于溶媒使用與揮發，合成與發酵過程，物料轉移與設備逸散，針對這些有機廢氣的處理包括預處理階段，主流處理階段。
預處理階段，使用活性炭/沸石吸附濃縮法，適用于大風量、低濃度廢氣，將廢氣濃縮為小風量、高濃度氣體，便于后續高效處理。洗滌吸收法，利用水或化學溶劑吸收可溶性或酸性/堿性VOCs（如氨、胺類、部分醇類）。
主流處理階段，使用蓄熱式焚燒爐（RTO），將廢氣加熱至760℃以上，使VOCs徹底氧化分解為CO?和H?O，凈化效率常>99%。其蓄熱體高效回收熱量，顯著降低運行能耗，尤其適合中高濃度、復雜組分廢氣。催化燃燒（CO/RCO）：，在催化劑作用下，VOCs在較低溫度（通常300-400℃）下氧化分解。能耗低于直接焚燒，適用于中濃度廢氣，但對催化劑性能及廢氣清潔度（防中毒）要求高。生物法， 利用微生物代謝降解VOCs為無害物質（如生物滴濾塔、生物濾池）。適用于處理水溶性、可生物降解、低濃度、大氣量廢氣（如某些發酵尾氣），運行成本低，但占地面積大，對負荷波動敏感。吸附法，活性炭、沸石等吸附劑直接吸附凈化低濃度廢氣。工藝簡單，但吸附劑需定期再生或更換，產生二次固廢（廢活性炭）。
典型工藝路線，常采用組合工藝，如“洗滌（除粉塵/水溶性物）+ 沸石轉輪吸附濃縮 + RTO（高效銷毀）”或“活性炭吸附（應急/低濃度）+ RTO（主處理）”，后端可增設低溫等離子/光催化作為保障。
